根据美国政府的标准,无尘车间可以分为五个等级,分别是1级、10级、100级、1000级、10000级和100000级。
1级无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,其洁净度最高。
10级无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业,其洁净度次之。
100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,其洁净度更高。
1000级无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,其洁净度更高。
10000级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,其洁净度也较高。
100000级无尘车间则广泛应用于许多工业部门,其洁净度相对较低。