进气管绝对压力传感器的类型

进气管绝对压力传感器的种类较多，按其检测原理可分为：压敏电阻式、电容式、膜盒式、表面弹性波式。其中，压敏电阻式和电容式是应用较多的两种类型。

1.压敏电阻式进气管绝对压力传感器：

压敏电阻式进气管绝对压力传感器主要由绝对真空室、硅片和IC放大电路组成。其中，硅片的一侧是真空室，另一侧承受进气管内的压力。当进气管绝对压力发生变化时，硅片会产生变形。由于真空室的压力是固定的，而进气管绝对压力是变化的，因此硅片的变形量会不同。

2.电容式进气管绝对压力传感器：

电容式进气管绝对压力传感器由弹性膜片、输出端子和壳体等组成。它利用电容效应检测进气管绝对压力。电容量的变化量与弹性膜片的位移成正比，而弹性膜片的位移则取决于上、下两个空腔的气体压力。当进气管压力变化时，电容量也会发生变化，经过测量电路转换成电压信号输入ECU。

3.真空膜盒传动的可变电感式进气歧管绝对压力传感器：

真空膜盒传动的可变电感式进气歧管绝对压力传感器主要由膜盒、铁心、感应线圈和电子电路组成。膜盒是由薄金属片焊接而成，内部被抽成真空，外部与进气歧管相通。当外部压力变化时，膜盒会产生膨胀和收缩的变化，与铁心联动。感应线圈由2个绕组构成，其中一个与振荡电路相连，产生交流电压，在线圈周围产生磁场，另一个为感应绕组，产生信号电压。当进气歧管压力变化时，膜盒带动铁心在磁场中移动，使感应线圈产生的信号电压随之变化。该信号电压由电子电路检波、整形和放大后，作为传感器的输出信号送至电控单元（ECU）。

4.表面弹性波式进气压力传感器：

表面弹性波式进气压力传感器是在一块压电基片上用超声波方法加工出一个薄膜敏感区，上面刻制换能器（压敏SAW延时线），换能器与电路组合成振荡器。换能器是在抛光的压电基片上设置2个金属叉指构成，若在输入换能叉指T1上加电信号，便由逆压电效应在基片寿面激励起弹性表面波，传播到换能文指T2转换成电信号，经放大后反馈到T1以便保持振荡状态。表面弹性波（SAW）在2个换能叉指之间的传播时间即是所获得的延迟时间，其大小取决于2个换能叉指间的距离。由于导入的进气歧管压力作用于压电基片上，压力变化将在薄膜敏感区产生应变，即使换能叉指间距离发生变化。因此，表面弹性波传播的延迟时间相应变化。这样，根据与延迟时间成反比的振荡频率，即可输出压力信号。