应变式压力传感器的工作原理是基于应变材料的几何形状变化来测量压力。当外界的压力(或拉力)作用于应变材料时,材料的长度或宽度会发生改变,进而导致电阻值发生变化。这种电阻变化量可以用来检测外力的大小。压阻式压力传感器的工作原理则是利用半导体压阻材料的晶格参数变化来测量压力。当传感器受到外力作用时,其晶格参数会改变,进而影响到禁带宽度,导致载流子密度发生很大的改变,最终引起材料的电阻率变化。尽管两种材料都对外力变化呈现出电阻变化,但原理不同。此外,应变式材料对温度的影响较小,而半导体压阻材料对温度非常敏感。
压阻式压力传感器相对于应变式压力传感器,具有更高的灵敏度。应变式材料的灵敏度远低于半导体压阻材料,后者的灵敏度约为前者的100倍。因此,在实际应用中,压阻式压力传感器更为常见。
总之,应变式压力传感器和压阻式压力传感器的转换原理有所不同。应变式传感器通过应变材料的几何形状变化来测量压力,而压阻式传感器则是利用半导体压阻材料的晶格参数变化来测量压力。压阻式传感器的灵敏度更高,因此在实际应用中更为常见。