光刻机产业链主要公司总结

光刻机，这个芯片制造过程中的关键组件，其精密构造包括光源、照明系统、光学元件和工件台等。它通过投射光束，透过光掩膜版和光学透镜，将线路图精确地刻画在硅晶圆的光感涂层上。经过一系列复杂的工艺流程，如曝光、蚀刻、沉积等，最终形成电路的精密结构。让我们深入探讨一下支撑光刻机运转的各大关键领域公司：

物镜系统：

• 国望光学：专攻曝光光学系统，为光刻机的核心组件提供技术支持。
• 赛微电子：为国际顶级制造商ASML提供透镜系统的重要元件，并支持晶圆制造。

曝光系统：

• 国科精密：作为国内领先者，自主研发了曝光光学系统与物镜系统。

光源组件：

• 科益虹源：专注于准分子激光器的研发，为光刻机提供关键光源。
• 福晶科技：凭借KBBF晶体，成为EUV激光生产的重要参与者。

光学元件：

• 茂莱光学：供应光刻机光学透视镜，广泛应用于光学系统。
• 腾景科技：通过多波段合分束器技术，拓展到半导体设备市场。
• 炬光科技：提供半导体激光退火系统和核心元器件，助力上海微电子等企业。
• 晶方科技：子公司Anteryon，不仅是顶级光学设计公司，也是晶圆级光学镜头制造商和重要供应商。

浸没式系统：

• 启尔机电：专业供应浸没系统，为光刻机提供关键支持。

双工作台技术：

• 华卓精科：在双工作台技术领域，凭借深厚实力成为重要供应商。 空气净化与结构零部件：
  • 富创精密：提供半导体零部件，成为ASML的战略供应商，工艺水平国际领先。
  • 新莱应材：真空产品和气体产品应用于光刻机设备，确保设备运行的纯净环境。