mocvd是什么意思？

什么是MOCVD？

MOCVD是一种新型的气相外延生长技术，它是在气相外延生长（VPE）的基础上发展而来的。MOCVD的主要材料是Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等，通过热分解反应在衬底上进行气相外延生长，可以制造出各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及多元固溶体的薄层单晶材料。通常，MOCVD设备都具备手动和微机自动控制操作两种功能。